ELA系列超精密直线伺服气浮平台
由一派数控与德国AeroLas联合开发的ELA系列超精密平台,是以直线电机为驱动,微孔气浮导轨为支撑,控制精度在0.5~0.1微米的多轴运动平台,是高端电子、光学、芯片等工业领域精密加工和精密检测的首选伺服装置。其显著特点是:
●所有运动部件均无接触摩擦,无过定位;
●所有运动轴系布置在一个平面上,最大限度地提高平台结构的稳定性和工件移动时的平面度。
ELA系列主要技术参数:
技术指标描述 |
X/Y行程 |
X/Y速度 |
X/Y轴加速度 |
X/Y轴绝对定位精度 |
X/Y轴重复定位精度 |
单轴直线度 |
C轴转角 |
C轴转角绝对定位精度 |
C轴转角重复定位精度 |
工作平面的平面度 |
技术参数 |
300X300mm |
0.05~1m/s |
2g |
0.4um (有补偿) |
0.2um |
±1um (有效行程) |
360° |
±1.5角秒 |
±1角秒 |
0.5um |
各单项可实现的最高指标 |
4000X2500mm |
4m/s |
5g |
0.25um(与测量控制系统有关) |
0.02um(与测量控制系统有关) |
±0.5um (有效行程) |
360° |
±1.5角秒 |
±1角秒 |
0.3um |